VOC廢氣處理工藝方法采用2-3級的組合工藝，主要有：噴淋+UV等離子、噴淋+UV光解、噴淋+光解等離子、UV光解+活性炭吸附法、RCO燃燒法、RTO燃燒法、濃縮回收法等新型的處理方法 。在實際工程運用中，針對小氣量低濃度的場所可以采用兩級活性炭吸附法。具有易燃性質的廢氣，根據廢氣濃度和廢氣量，采用RCO燃燒法或RTO燃燒法。VOC廢氣處理技術主要包括RTO燃燒法、UV/臭氧氧化法、活性炭吸附法、液體吸收法、冷凝回收法等處理方法。
有機廢氣不僅通過呼吸道和皮膚進入人體后，對人體的呼吸、血液、肝臟等系統和器官造成病變，部分環芳烴能使人直接致癌，危害人體健康。
其次，有機廢氣還會造成嚴重的大氣污染，在一定條件下形成光化學煙霧，造成二次污染；一些有機物進入平流層后，在紫外線的照射下與臭氧發生光化學反應，造成臭氧層空洞；一些有機物具有惡臭污染和有害氣體的兩重性；還有一些有機物會引起溫室效應。
工業生產中會產生各類有機廢氣，由于對環境和人體的健康都有危害，近幾年來，已經受到環保部分的重點關注。有機廢氣主要包括烴類、醇類、醛類、酸類、酮類和胺類等廢氣，主要分布在有機合成行業、石化行業、噴涂，噴漆行業，印刷行業、電泳行業、機械，家私廠噴涂等企業中。
一類是回收法。通過物理方法，在一定溫度、壓力下，用選擇性吸附劑和選擇性滲透膜等方法來分離有機化合物，主要包括活性炭吸附法、冷凝法等。另一類是消除法。通過化學或者生物反應，用光、熱、催化劑和微生物等將有機物轉化為水和二氧化碳，包括催化燃燒、光分解法等。