由于不同的工業企業使用不同的原料和產生污染的部分，它們產生的有機廢氣在成分、氣體體積、濃度和溫度上有很大的不同。因此，VOCs廢氣處理工藝的選擇必須結合廢氣的實際情況，如污染物種類、規模、濃度和企業經濟狀況，來選擇合適的處理工藝。VOCs廢氣的處理一般包括生物法、吸收法、吸附法、燃燒法和冷凝法。
1.吸收凈化法：吸收法通過擴散將廢氣中的氣態污染物轉化為液相，然后形成溶解的水合物或某種新的化合物。我們使用這種方法的常見工藝包括噴淋塔凈化和旋流塔凈化。
2.吸附凈化法：吸附法是通過分子力的作用，使廢氣中的一些成分聚集到多孔固體介質(吸附劑)的表面，達到分離污染物的目的。使用這種方法的常見過程包括活性炭吸附和沸石轉輪吸附。
3.冷凝凈化法：冷凝法利用氣體沸點的差異，通過冷凝將氣體污染物從有機廢氣中分離出來。我們常用的方法是冷凝回收法。
4.催化轉化法：催化轉化法是將廢氣中的氣態污染物在催化劑的作用下轉化為非污染物或其他易于去除的物質。使用這種方法的常見過程是紫外光解催化氧化過程。
5.燃燒凈化法：燃燒法通過燃燒將可燃氣體污染物轉化為二氧化碳和水等無害物質。我們使用這種方法的常見工藝包括RTO焚燒工藝和RCO催化燃燒工藝。
6.生物法：生物法是利用特定微生物能降解有機物的特性來處理有機廢氣。廢氣中的成分被用作微生物代謝的營養物質。廢氣成分在微生物的一系列代謝作用下產生水、二氧化碳和酸。