通過采用UV-D 波段內(nèi)的真空紫外線（波長(zhǎng)范圍 170-184·9nm），破壞有機(jī)廢氣分子的化學(xué)鍵，使之裂解形成游離狀態(tài)的原子或基團(tuán)（C H O*等）；同時(shí)通過裂解混合空氣中的氧氣，使之形成游離的氧原子并結(jié)合生成臭氧【UV＋O2→O-+O＊（活性氧） O+O2→O3（臭氧）】。具有強(qiáng)氧化性的臭氧（O3）與有機(jī)廢氣分子被裂解生成的原子發(fā)生氧化反應(yīng)，形成 H2O 和 CO2。整個(gè)反應(yīng)過程不超過 0.1 秒，凈化效果與廢氣分子的鍵能、廢氣濃度以及含氧量有關(guān)。整個(gè)凈化過程無需添加任何化學(xué)助劑或者特殊限制條件。
燃燒法只在揮發(fā)性有機(jī)物在高溫及空氣充足的條件下進(jìn)行完全燃燒，分解為CO2和H2O。燃燒法適用于各類有機(jī)廢氣，可以分為直接燃燒、熱力燃燒和催化燃燒。
排放濃度大于5000mg/m3 的高濃度廢氣一般采用直接燃燒法，該方法將VOCs廢氣作為燃料進(jìn)行燃燒，燃燒溫度一般控制在1100℃，處理，可以達(dá)到95％一99％ 。
熱力燃燒法適合于處理濃度在1000—5000 mg/m3 的廢氣，采用熱力燃燒法，廢氣中VOCs濃度較低，需要借助其他燃料或助燃?xì)怏w，熱力燃燒所需的溫度較直接燃燒低，大約為540—820℃。燃燒法處理VOCs廢氣處理，但VOCs廢氣若含有S、N等元素，燃燒后產(chǎn)生的廢氣直接外排會(huì)導(dǎo)致二次污染。
膠水廢氣主要成分為有機(jī)廢氣，目前對(duì)有機(jī)廢氣處理方法主要有活性炭吸附法、等離子法、燃燒法、UV光解法。
膠水廢氣處理設(shè)備，膠水廢氣處理方法，膠水是連接兩種材料的中間體，多以水劑出現(xiàn)，屬精細(xì)化工類，種類繁多，主要以粘料、物理形態(tài)、硬化方法和被粘物材質(zhì)來進(jìn)行分類。在工業(yè)上膠水用于同質(zhì)或異質(zhì)物體表面用膠粘劑連接在一起后需要經(jīng)過烘干工序，在烘干工序過程中膠水揮發(fā)出有機(jī)廢氣，這些廢氣對(duì)人的身體健康有危害，必須經(jīng)過凈化處理才能達(dá)標(biāo)排放。
利用吸附劑（活性碳、硅膠、分子篩等）對(duì)廢氣中有機(jī)組分的高效吸附性能，使廢氣通過吸附劑層后得以凈化。常用的吸附技術(shù)采用的吸附介質(zhì)是活性炭（棒狀或顆粒活性炭）。吸附法凈化（隨著吸附劑的飽和，凈化效率逐漸降低）、運(yùn)行費(fèi)用高（更換吸附劑的成本非常高）、投資成本低、給環(huán)境帶來固體廢棄物的二次污染。目前主要應(yīng)用于大風(fēng)量、低濃度（≤800mg/m3）、無顆粒物、無黏性物、常溫的低濃度有機(jī)廢氣凈化處理。
利用介質(zhì)阻擋放電過程中，等離子體內(nèi)部產(chǎn)生富含極高化學(xué)活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等，廢氣中的污染物質(zhì)與這些具有較高能量的活性基團(tuán)發(fā)生反應(yīng)，終轉(zhuǎn)化為CO2 和 H2O 等物質(zhì)，從而達(dá)到凈化廢氣的目的。目前市場(chǎng)上很多低溫等離子名義上是電離廢氣，實(shí)際是電離空氣產(chǎn)生臭氧，利用臭氧的強(qiáng)氧化性來進(jìn)行廢氣處理。低溫等離子的放電效果和空氣的濕度有極大的關(guān)系，濕度越大能耗越大，大量能量會(huì)被水分子吸收，從而降低電離效果。使用低溫等離子處理廢氣，廢氣直接經(jīng)過放電系統(tǒng)，對(duì)于易燃易爆氣體帶來很大安全隱患，容易造成火災(zāi)等重大安全事故。
通過采用UV-D 波段內(nèi)的真空紫外線（波長(zhǎng)范圍 170-184·9nm），破壞有機(jī)廢氣分子的化學(xué)鍵，使之裂解形成游離狀態(tài)的原子或基團(tuán)（C H O*等）；同時(shí)通過裂解混合空氣中的氧氣，使之形成游離的氧原子并結(jié)合生成臭氧【UV＋O2→O-+O＊（活性氧） O+O2→O3（臭氧）】。具有強(qiáng)氧化性的臭氧（O3）與有機(jī)廢氣分子被裂解生成的原子發(fā)生氧化反應(yīng)，形成 H2O 和 CO2。整個(gè)反應(yīng)過程不超過 0.1 秒，凈化效果與廢氣分子的鍵能、廢氣濃度以及含氧量有關(guān)。整個(gè)凈化過程無需添加任何化學(xué)助劑或者特殊限制條件。